Keysight B1505A 是一款专为功率器件表征设计的一体化解决方案，支持从亚皮安（sub-pA）到 10 kV / 1500 A 的宽范围测量。它集成了高压、大电流、多频电容测量等功能，适用于 IGBT、MOSFET、GaN、SiC 等新型功率器件的研发与生产测试。以下是安泰测试小编整理的其说明书，如需详细电子版可联系客服领取。

一、主要特点

宽范围测量能力

电压：±10 kV（直流偏置高达 3000 V）

电流：±1500 A（脉冲/直流）

电阻：μΩ 量级导通电阻测量

电流分辨率：< 10 fA（高精度模式下）

多模式测量

IV 特性测量：支持静态和动态 IV 曲线扫描。

CV 测量：1 kHz 至 5 MHz 多频电容测量（Ciss、Coss、Crss 等）。

脉冲测量：最短脉冲宽度 10 μs，适用于功率器件的开关特性测试。

热测试：-50°C 至 +250°C 全自动温度范围。

模块化设计

提供 10 个插槽，支持多种测量模块（如 HVSMU、HCSMU、MFCMU 等）的灵活配置。

支持多达 5 个 3 kV 高压通道，满足复杂测试需求。

安全与自动化

内置互锁装置的测试夹具，确保高电压/大电流测试的安全性。

自动切换高压与大电流测量，无需重新布线。

支持全自动电容测量和栅极电荷测试。

软件支持

基于 Windows 的 EasyEXPERT 软件，提供直观的图形化界面和自动化测试流程。

支持数据导出、报告生成和远程控制。

二、技术指标

参数 规格

电压测量范围 ±10 kV（直流偏置高达 3000 V）

电流测量范围 ±1500 A（脉冲/直流）

电阻测量范围 μΩ 量级导通电阻

电流分辨率 < 10 fA（高精度模式下）

电容测量范围 1 fF 至 10 μF（1 kHz 至 5 MHz）

脉冲宽度 10 μs 至 1000 s

温度范围 -50°C 至 +250°C

接口 GPIB、USB、LAN、触发 I/O

三、硬件安装

主机安装

将主机放置在平稳的工作台上，确保通风良好。

连接电源线并接地。

模块安装

打开主机前盖，将测量模块插入空闲插槽，并拧紧固定螺丝。

连接模块间的信号线缆（如需）。

外围设备连接

通过 GPIB、USB 或 LAN 接口连接计算机。

连接探针台、测试头等外围设备。

四、软件操作

EasyEXPERT 软件启动

在计算机上启动 EasyEXPERT 软件，选择 B1505A 主机进行连接。

测试流程

选择测试模式：从 IV、CV、脉冲 IV 等模式中选择。

配置测试参数：设置电压/电流范围、扫描步长、脉冲宽度等参数。

执行测试：点击“开始”按钮，仪器自动执行测试并显示结果。

数据分析：软件提供图形化结果展示，支持数据导出和报告生成。

自动化测试

用户可通过软件编写自定义测试序列，满足特殊测试需求。

五、典型应用

功率器件研发

用于 IGBT、MOSFET、GaN、SiC 等器件的 IV、CV 特性测试。

高压/大电流测试用于评估器件的开关特性和可靠性。

失效分析

通过脉冲 IV 测试检测器件的缺陷和退化机制。

工艺监控

在晶圆级测试中，用于监控工艺参数的变化。

六、维护与保养

定期校准

建议每 6 个月进行一次校准，确保测量精度。

清洁

定期清洁主机和模块表面，避免灰尘积累。

模块更换

更换模块时，需先关闭主机电源，并按照说明手册操作。

七、注意事项

安全操作

测试时需佩戴防静电手环，避免静电损坏器件。

高压测试时，确保测试区域无人员靠近。

环境要求

工作温度：15°C 至 35°C

相对湿度：20% 至 80%（非凝结）

模块兼容性

不同模块的电压/电流范围不同，需根据测试需求选择合适的模块。

八、常见问题解答

Q：如何选择合适的测量模块？

A：根据测试需求选择，例如：

高压 IV 测试：选择 HVSMU（高压源测量单元）。

大电流 IV 测试：选择 HCSMU（大电流源测量单元）。

电容测量：选择 MFCMU（多频电容测量单元）。

Q：如何实现多通道并行测试？

A：在主机中插入多个 SMU 模块，并在软件中配置多通道测试序列。

Q：测试结果异常怎么办？

A：检查以下项目：

测试夹具和探针是否接触良好。

模块是否过热（长时间测试后需冷却）。

软件参数设置是否正确。